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清洁爪式真空泵的重要性

点击次数:   更新时间:19/11/12 16:52:11     来源:www.danruizk.com关闭分    享:
  保持爪式真空泵的清洁能够保障真空泵的性能,不管是什么设备如果有任何的污染物进入都会影响设备的正常运行,真空泵就是这样,哪怕是一个颗粒进入到真空泵的关键运行部位,那很可能对真空泵造成损伤。
  爪式真空泵由许多不同的零件组成,它们都是经过各种机械加工完成的,如车、铣、刨、磨、锉、焊接等。这样,零件表面不可避免地会沾上许多加工油脂、汗痕、抛光膏、焊剂、金属屑、油垢等污染物。这些污染物在真空中易挥发,影响真空设备的真空。此外,污染物在大气压下吸附了大量的气体,在真空环境中,这些气体也要被释放出来。构成了控制爪式真空泵真空的因素。为此,零件组装前须去除掉污染物。
  爪式真空泵使用过程中,零件还会受到污染。这种污染与使用条件及真空泵有关。如真空干燥系统,经常使用后会受到蒸发出来的物质的污染;真空镀膜机的内壁会被蒸镀材料污染;离子束刻蚀设备的内壁会被工件溅射的溅散物污染;真空中的电子枪的灯丝,由于高温蒸发会使其附近表面形成金属膜;规管灯丝在高温下蒸发,使陶瓷绝缘子上形成薄膜,破坏绝缘强度,影响测量的准确性。真空系统中的机械泵油和扩散泵油更是污染源,设备长期工作后会使设备内部形成明显的油膜。这些污染同样会影响设备的性能,应注意随时去除。
  高真空系统中,清洁处理更为重要。良好的清洁处理工艺,可以使材料放气率降低几个数量级。如不锈钢长期暴露于大气后,不进行任何处理,抽气1h后的出气率为2.7x10-1Pa·L/(s·m2),去除油污后抽气4h,可降到1.3x10-3Pa·L/(s·m2)。在250℃下烘烤15h,出气率进一步降到1.3x10-6Pa·L/(s·m2)。好的清洁处理工艺,可以提高爪式真空泵的真空度。
  在爪式真空泵的运行中,润滑油是一种经常使用的产品,没有杂质的润滑油能够很好的对真空泵运行其到帮助作用,从此就能看出来清洁对真空泵性能的影响,所以大家在使用的时候要注意日常的清洁维护。
小编:fir
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